原子間力顕微鏡
　AFM(原子間力顕微鏡)。大気中に置いて原子層レベルの縦方向分解能を持っています。この装置を用いて表面状態を観察し、その制御を目指しています。

AFMによるナノ構造観察像
Si表面原子ステップ :Si表面の段差です一つの段差が約0.31nmとなっています
ナノエリアローカルエピタキシー:EB露光によって作製した微小孔です

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