平成２０年度支援課題一覧
課題番号 支援機能名 業務形態名 実施課題名 申請者の所属 申請者 主な利用装置名
2008TTF01 超微細加工 技術代行 電子線レジストZEP520Aへのフラーレン誘導体添加による感度への影響 フロンティアカーボン株式会社 田中　克知 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡
2008TTF02 超微細加工 共同研究 低電力低雑音増幅器応用の為の埋込ゲート構造を持つInAsHEMTT 國立交通大学 張　翼 電子ビーム露光装置
2008TTF03 超微細加工 共同研究 微細加工技術を用いて作製したテラヘルツデバイスの比較 キヤノン(株)総合R&D本部　不可視領域イメージング第二研究室 尾内　敏彦 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置・プラズマCVD・電子ビーム蒸着装置
2008TTF04 超微細加工 技術代行 ナノグラフェングリッドの作製 東工大・理工・化学専攻・榎研 高井　和之 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・電子ビーム蒸着装置
2008TTF05 超微細加工 共同研究 高速・低電圧論理応用の為のInAsチャネルQWFETの研究 國立交通大学 張　翼 電子ビーム露光装置
2008TTF06 超微細加工 技術代行 2次元プラズモニック結晶の放射特性 東工大・理工・物性物理学専攻・山本研 山本　直紀 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置・プラズマCVD・電子ビーム蒸着装置
2008TTF07 超微細加工 共同研究 EB露光、ドライエッチングおよび埋め込み再成長を用いた量子細線レーザーの作製と光学利得スペクトル評価 東京大学　物性研究所　秋山研 秋山　英文 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置・プラズマCVD・電子ビーム蒸着装置・有機金属気相成長装置
2008TTF08 超微細加工 技術代行 電子線レジストOEBR-1000LBへのフラーレン誘導体添加によるエッチング耐性への影響－１ フロンティアカーボン株式会社 田中　克知 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置
2008TTF09 超微細加工 共同研究 線形成向上の為に均一ドーピング分布を持つ複合チャネルMHEMTs 國立交通大学 張　翼 電子ビーム露光装置
2008TTF10 超微細加工 技術代行 チップ増強法による表面プラズモン分布の観察 東工大・理工・物性物理学専攻・南研 南　不二雄 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・電子ビーム蒸着装置
2008TTF11 超微細加工 技術代行 電子線レジストOEBR-1000LBへのフラーレン誘導体添加によるエッチング耐性への影響－２ フロンティアカーボン株式会社 田中　克知 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置
2008TTF12 超微細加工 技術代行 電子ビーム露光と無電解金メッキ法を用いて作製したナノギャップ電極におけるクーロンブロッケード現象の観察 東工大・理工・電子物理工学専攻・真島研 真島　豊 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・電子ビーム蒸着装置
2008TTF13 超微細加工 技術代行 ナノグラフェンの磁場中電子輸送 東工大・理工・化学専攻・榎研 高井　和之 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・電子ビーム蒸着装置
2008TTF14 超微細加工 共同研究 一軸性引っ張り歪み下でのAlGaN/GaN HEMTs 國立交通大学 張　翼 電子ビーム露光装置
2008TTF15 超微細加工 技術代行 Ag/Ag2Sナノギャップ電極における光アシストAg架橋現象 大阪大学　理学研究科化学専攻　物性有機化学（小川）研究室 日野　貴美 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置・プラズマCVD・電子ビーム蒸着装置
2008TTF16 超微細加工 技術代行 フラーレン誘導体を用いたネガ型レジストの感度評価 フロンティアカーボン株式会社 田中　克知 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡
2008TTF17 超微細加工 技術代行 微細加工のＥＢ露光技術 ミツミ電機株式会社　ＡＶＣ技術部 中島　郁夫 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡
2008TTF18 超微細加工 技術代行 精密アライメントEBリソグラフィー法を用いたPt-Cu/CuS対向ナノギャップ電極作製 大阪大学　理学研究科化学専攻　物性有機化学（小川）研究室 日野　貴美 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置・プラズマCVD・電子ビーム蒸着装置
2008TTF19 超微細加工 技術代行 電子線グレースケール描画における寸法精度の検討 株式会社ニューフレアテクノロジー 野末　寛 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡
2008TTF20 超微細加工 共同研究 Pd/Ge/Cu アロイオーミックコンタクトを持つ銅配線パワーInGaP/GaAs ヘテロ接合バイポーラトランジスタ 國立交通大学 張　翼 電子ビーム露光装置
2008TTF21 超微細加工 技術代行 Pt-Cu/CuS電極作製におけるギャップ形成の試み 大阪大学　理学研究科化学専攻　物性有機化学（小川）研究室 日野　貴美 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置・プラズマCVD・電子ビーム蒸着装置
2008TTF22 超微細加工 技術代行 金属フォトニック結晶からのSmith-Purcell放射 東工大・理工・物性物理学専攻・山本研 山本　直紀 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置・プラズマCVD・電子ビーム蒸着装置
2008TTF23 超微細加工 技術代行 アモルファス炭素超薄膜の電子輸送 東工大・理工・化学専攻・榎研 高井　和之 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・電子ビーム蒸着装置
2008TTF24 超微細加工 技術代行 フラーレン誘導体を用いたポジ型化学増幅型レジストのＥＢ露光での感度評価－１ フロンティアカーボン株式会社 田中　克知 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡
2008TTF25 超微細加工 技術代行 光電導性薄膜を有する異種金属対向ナノギャップ電極の光応答 大阪大学　理学研究科化学専攻　物性有機化学（小川）研究室 日野　貴美 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置・プラズマCVD・電子ビーム蒸着装置
2008TTF26 超微細加工 共同研究 2200 mS/mmと500-GHz fTを持つ40-nmゲートInAs/In0.7Ga0.3As複合チャネルHEMT 國立交通大学 張　翼 電子ビーム露光装置
2008TTF27 超微細加工 技術代行 量子ドット位置制御のための電子線照射によるカーボンパターン形成 日本工業大学　工学部　電気電子工学科 綱島　圭一 電子ビーム露光装置
2008TTF28 超微細加工 技術代行 電子ビーム露光と無電解金メッキ法を用いたナノギャップ電極作製に関する研究 東工大・理工・電子物理工学専攻・真島研 真島　豊 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・電子ビーム蒸着装置
2008TTF29 超微細加工 技術代行 ３端子原子スイッチに向けた描画パターンの設計 大阪大学　理学研究科化学専攻　物性有機化学（小川）研究室 日野　貴美 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置・プラズマCVD・電子ビーム蒸着装置
2008TTF30 超微細加工 技術代行 フラーレン誘導体を用いたポジ型化学増幅型レジストのＥＢ露光での感度評価－２ フロンティアカーボン株式会社 田中　克知 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡
2008TTF31 超微細加工 共同研究 ドット状にパターン化されたサファイア基板上へ成長した460nm InGaN- LEDs 國立交通大学 張　翼 電子ビーム露光装置
2008TTF32 超微細加工 技術代行 カーボンナノチューブ成長のためのドットパタン形成法の研究 神奈川大学・理学部・情報科学科 中田　穣治 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置
2008TTF33 超微細加工 共同研究 GaMnAs二重障壁磁気トンネル接合における電流注入による磁気抵抗ゆらぎ機構の解明 東工大・理工・物性物理学専攻・吉野研 吉野　淳二 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・電子ビーム蒸着装置
2008TTF34 超微細加工 技術代行 フラーレン誘導体を用いたポジ型化学増幅型レジストのＥＢ露光での感度評価－３ フロンティアカーボン株式会社 田中　克知 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡
2008TTF35 超微細加工 技術代行 室温動作単電子トランジスタ作製に向けたクロスリンクPMMA犠牲層を用いたトップゲート構造を有するナノギャップ電極作製に関する研究 東工大・理工・電子物理工学専攻・真島研 真島　豊 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・電子ビーム蒸着装置
2008TTF36 超微細加工 共同研究 原子層堆積によるAl2O3 ゲート絶縁物を持つInAsチャネル金属-酸化物-半導体HEMTs 國立交通大学 張　翼 電子ビーム露光装置
2008TTF37 超微細加工 技術代行 1次元サブ波長シリコン回折格子を用いた偏波選択反射鏡 KAIST Yong-Hee Lee 　
2008TTF38 超微細加工 技術代行 フラーレン誘導体を用いたポジ型化学増幅型レジストのLER評価 フロンティアカーボン株式会社 田中　克知 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡
2008TTF39 超微細加工 技術代行 電子線レジストのプリベーク条件の影響（１） 株式会社トクヤマ 東野　誠司 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡
2008TTF40 超微細加工 共同研究 InAsチャネルHEMTsの20 – 60 GHz 雑音指数特性 國立交通大学 張　翼 電子ビーム露光装置
2008TTF41 超微細加工 共同研究 EB露光、ドライエッチングおよび埋め込み再成長を用いた量子細線レーザーの作製 東京大学　物性研究所　秋山研 秋山　英文 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置・プラズマCVD・電子ビーム蒸着装置・有機金属気相成長装置
2008TTF42 超微細加工 技術代行 Pt-Cu/CuS対向ナノギャップ電極作製におけるアライメント精度の向上 大阪大学　理学研究科化学専攻　物性有機化学（小川）研究室 日野　貴美 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置・プラズマCVD・電子ビーム蒸着装置
2008TTF43 超微細加工 技術代行 単電子トランジスタ作製に向けた無電解メッキ法によるナノギャップ作製における自己停止機能に関する研究 東工大・理工・電子物理工学専攻・真島研 真島　豊 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・電子ビーム蒸着装置
2008TTF44 超微細加工 技術代行 アルミのプラズモン共鳴を用いたナノパターニング 東工大・理工・物質科学専攻・柴田研 瀬川　浩代 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・電子ビーム蒸着装置
2008TTF45 超微細加工 技術代行 フラーレン誘導体を用いたポジ型化学増幅型レジストのエッチング耐性評価 フロンティアカーボン株式会社 田中　克知 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置
2008TTF46 超微細加工 共同研究 40nm InAs/In0.53Ga0.47As HEMTsにおける衝突イオン化の研究 國立交通大学 張　翼 電子ビーム露光装置
2008TTF47 超微細加工 技術代行 強磁性半導体GaMnAsマイクロ・ナノ構造の作製と磁気異方性制御 東工大・理工・附属像情報工学研究施設 宗片　比呂夫 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・電子ビーム蒸着装置
2008TTF48 超微細加工 技術代行 Pt-Ag/Ag2S対向ナノギャップ電極作製におけるAg構造作製精度の向上 大阪大学　理学研究科化学専攻　物性有機化学（小川）研究室 日野　貴美 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置・プラズマCVD・電子ビーム蒸着装置
2008TTF49 超微細加工 技術代行 電子線レジストのプリベーク条件の影響（２） 株式会社トクヤマ 東野　誠司 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡
2008TTF50 超微細加工 技術代行 ノボラック樹脂を用いたネガ型レジストへのフラーレン誘導体添加による感度への影響 フロンティアカーボン株式会社 田中　克知 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡
2008TTM01 計測・分析 共同研究 炭酸アパタイト粒子によるタンパク質の細胞内デリバリーシステムの構築 東工大・生命理工・生体分子機能工学専攻・赤池研 赤池　敏弘 日立超高圧電子顕微鏡H-1250S型
2008TTM02 計測・分析 共同研究 Cu-Ag複相合金単結晶中に析出したAg粒子の時効による形状変化 東工大・総理工・材料物理科学専攻・尾中研 尾中　晋 日立超高圧電子顕微鏡H-1250S型，イオンミリング装置
2008TTM03 計測・分析 共同研究 固相Feと液相Alの反応拡散による化合物の微細組織形態 東工大・総理工・材料物理科学専攻・梶原研 梶原　正憲 日立超高圧電子顕微鏡H-1250S型
2008TTM04 計測・分析 技術代行 超高圧電顕による厚膜試料の構造解析 住友化学株式会社　筑波研究所 本多　祥晃 日立超高圧電子顕微鏡H-1250S型，日本電子JEM-2010電子顕微鏡
2008TTM05 計測・分析 共同研究 電磁力衝撃圧着したAl/金属ガラス接合材の接合界面組織 東工大・総理工・材料物理科学専攻・熊井研 熊井　真次 日立超高圧電子顕微鏡H-1250S型，日本電子JEM-2010電子顕微鏡
2008TTM06 計測・分析 共同研究 シリコンナノフォーム音響・光学特性の検討 東工大・精密工学研究所・極微ﾃﾞﾊﾞｲｽ部門 中村　健太郎 日立超高圧電子顕微鏡H-1250S型
2008TTM07 計測・分析 技術代行 GHz帯域伝導ノイズ抑制体用フェライトめっき膜のナノコラムナー構造の観察 東工大・応用セラミックス研究所 松下　伸広 日立超高圧電子顕微鏡H-1250S型
2008TTM08 計測・分析 共同研究 超短パルスレーザを用いた二酸化チタン薄膜の研究 東工大・フロンティア研究センター 腰原　伸也 日立超高圧電子顕微鏡H-1250S型
2008TTM09 計測・分析 共同研究 Ni-Cr合金とSnの固相反応拡散による微細化合物組織の生成形態 東工大・総理工・材料物理科学専攻・梶原研 梶原　正憲 日立超高圧電子顕微鏡H-1250S型,イオンミリング装置