平成ヘイセイ２２年度ネンド支援シエン課題カダイ一覧イチラン
支援シエン機関キカン名メイ	課題カダイ番号バンゴウ	支援シエン機能キノウ名メイ	業務ギョウム形態ケイタイ名メイ	実施ジッシ課題カダイ名メイ	申請者シンセイシャの所属ショゾク	申請者シンセイシャ	役職ヤクショク	主オモな利用リヨウ装置ソウチ名メイ	主な利用装置の利用リヨウ日数ニッスウ
東京トウキョウ工業コウギョウ大学ダイガク	2010-TTF-1	超微細チョウビサイ加工カコウ	技術ギジュツ代行ダイコウ	チタニア薄膜の核結晶化成長	東工大・理工・Cross研	Cross Jeffrey Scott	教授キョウジュ	電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置・電子ビーム蒸着装置	5
	2010-TTF-2	超微細チョウビサイ加工カコウ	技術ギジュツ代行ダイコウ	ナノスケールドットパターン加工	名古屋ナゴヤ大学大学院・工学研究科 ・結晶材料工学専攻・財満研	竹内　和歌奈	助教	電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡	8
	2010-TTF-3	超微細チョウビサイ加工カコウ	共同キョウドウ研究ケンキュウ	40 nm InAs/InxGa1-xAs コンポジットチャネルHEMTsの論理性能	國クニ立リツ交通コウツウ大学ダイガク	張チョウ　翼ツバサ	教授キョウジュ	電子ビーム露光装置	8
	2010-TTF-4	超微細チョウビサイ加工カコウ	共同キョウドウ研究ケンキュウ	単一障壁(Ga,Mn)As MTJにおける電流注入による90°磁化回転	東工大トウコウダイ・理工・物性物理学専攻・吉野ヨシノ淳二ジュンジ研ケン	吉野ヨシノ　淳二ジュンジ	教授キョウジュ	電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・電子ビーム蒸着装置	6
	2010-TTF-5	超微細チョウビサイ加工カコウ	技術ギジュツ代行ダイコウ	グラフェンアンチドット格子における磁気輸送特性	東工大トウコウダイ・理工・化学専攻・榎研究室	高井タカイ　和之カズノリ	助教	電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置・電子ビーム蒸着装置	10
	2010-TTF-6	超微細チョウビサイ加工カコウ	技術ギジュツ代行ダイコウ	フラーレン誘導体を用いたポジ型化学増幅型レジストの EB露光でのPAG依存性	三菱化学株式会社フラーレン開発グループ	田中　克知	チームリーダー	電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡	4
	2010-TTF-7	超微細チョウビサイ加工カコウ	技術ギジュツ代行ダイコウ	2次元プラズモニック結晶によるSPP-光変換	東工大トウコウダイ・理工・物性物理学専攻・山本ヤマモト研ケン	山本　直紀	准ジュン教授キョウジュ	電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置・電子ビーム蒸着装置	10
	2010-TTF-8	超微細チョウビサイ加工カコウ	技術ギジュツ代行ダイコウ	EBリソグラフィー及びリフトオフプロセスによるサブミクロンチャネル長の強誘電体ゲート薄膜トランジスタ	JST-ERATO下田ナノ液体プロセスプロジェクト	宮迫　毅明	研究員ケンキュウイン	電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡	9
	2010-TTF-9	超微細チョウビサイ加工カコウ	技術ギジュツ代行ダイコウ	新規フラーレン誘導体を用いたポジ型化学増幅型レジストのEB露光での感度評価	三菱化学株式会社フラーレン開発グループ	田中　克知	チームリーダー	電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡	4
	2010-TTF-10	超微細チョウビサイ加工カコウ	共同キョウドウ研究ケンキュウ	有機基板上へフリップチップ実装した150nm mHEMTのボンディング温度の効果	國クニ立リツ交通コウツウ大学ダイガク	張チョウ　翼ツバサ	教授キョウジュ	電子ビーム露光装置	8
	2010-TTF-11	超微細チョウビサイ加工カコウ	技術ギジュツ代行ダイコウ	グラフェンデバイスへの酸素吸着制御	東工大・理工・化学専攻・榎研究室	高井タカイ　和之カズノリ	助教	電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置・電子ビーム蒸着装置	10
	2010-TTF-12	超微細チョウビサイ加工カコウ	技術ギジュツ代行ダイコウ	カソードルミネッセンス法による表面プラズモン導波路の研究	東工大トウコウダイ・理工・物性物理学専攻・山本ヤマモト研ケン	山本　直紀	准ジュン教授キョウジュ	電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置・電子ビーム蒸着装置	10
	2010-TTF-13	超微細チョウビサイ加工カコウ	技術ギジュツ代行ダイコウ	サブミクロンチャネル長の強誘電体ゲートTFTを作製するための EBリソグラフィーとドライエッチングプロセスを用いた微細パターニング	JST-ERATO下田ナノ液体プロセスプロジェクト	宮迫　毅明	研究員ケンキュウイン	電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡	9
	2010-TTF-14	超微細チョウビサイ加工カコウ	共同キョウドウ研究ケンキュウ	(Ga,Mn)As MTJにおける異方性トンネル磁気抵抗効果	東工大トウコウダイ・理工・物性物理学専攻・吉野ヨシノ淳二ジュンジ研ケン	吉野ヨシノ　淳二ジュンジ	教授キョウジュ	電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・電子ビーム蒸着装置	7
	2010-TTF-15	超微細チョウビサイ加工カコウ	技術ギジュツ代行ダイコウ	PAG連結型フラーレン誘導体を用いたポジ型化学増幅型レジストのEB露光での感度評価	三菱化学株式会社フラーレン開発グループ	田中　克知	チームリーダー	電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡	4
	2010-TTF-16	超微細チョウビサイ加工カコウ	技術ギジュツ代行ダイコウ	電子ビーム露光を用いたシリコンナノ構造体の作製	日産自動車�M　総合研究所	太田最実	研究員ケンキュウイン	電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・電子ビーム蒸着装置	4
	2010-TTF-17	超微細チョウビサイ加工カコウ	共同キョウドウ研究ケンキュウ	GaAs基板上80-nm デュアルゲートInGaP/InGaAs pHEMTs	國クニ立リツ交通コウツウ大学ダイガク	張チョウ　翼ツバサ	教授キョウジュ	電子ビーム露光装置	8
	2010-TTF-18	超微細チョウビサイ加工カコウ	技術ギジュツ代行ダイコウ	2次元プラズモニック結晶のバンドギャップ	東工大トウコウダイ・理工・物性物理学専攻・山本ヤマモト研ケン	山本　直紀	准ジュン教授キョウジュ	電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置・電子ビーム蒸着装置	10
	2010-TTF-19	超微細チョウビサイ加工カコウ	技術ギジュツ代行ダイコウ	自作近接効果補正プログラムを用いた半導体量子デバイス作製の試み	東工大トウコウダイ・理工・物性物理学専攻・藤澤フジサワ研ケン	藤澤利正	教授キョウジュ	電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・電子ビーム蒸着装置	23
	2010-TTF-20	超微細チョウビサイ加工カコウ	技術ギジュツ代行ダイコウ	ゾルゲル法により作製したITOチャネル及びBLT/PZT積層絶縁膜を用いたサブミクロンチャネル長強誘電体ゲートTFTの動作	JST-ERATO下田ナノ液体プロセスプロジェクト	宮迫　毅明	研究員ケンキュウイン	電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡	9
	2010-TTF-21	超微細チョウビサイ加工カコウ	技術ギジュツ代行ダイコウ	電子ビーム露光を用いたドットパターンの作製（その１）	株式会社デンソー　機能材料研究部	鈴木　義信	担当課長	電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡	6
	2010-TTF-22	超微細チョウビサイ加工カコウ	技術ギジュツ代行ダイコウ	AlGaAsSbキャリア供給層を用いたメタモルフィック高電子移動度トランジスタ(mHEMT)の作製と評価 ( I )	旭化成エレクトロニクス株式会社	山田　哲史	主査	電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡	11
	2010-TTF-23	超微細チョウビサイ加工カコウ	技術ギジュツ代行ダイコウ	ArF用メタクリル系ポリマーへのフラーレン誘導体添加によるエッチング耐性への影響	三菱化学株式会社フラーレン開発グループ	田中　克知	チームリーダー	電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡	4
	2010-TTF-24	超微細チョウビサイ加工カコウ	技術ギジュツ代行ダイコウ	導電膜への電子線照射ダメージ評価	株式会社ニューフレアテクノロジー	野末ノズエ　寛ヒロシ	グループマネージャー	電子ビーム露光装置	3
	2010-TTF-25	超微細チョウビサイ加工カコウ	技術ギジュツ代行ダイコウ	位相シフト分布帰還の量子カスケードレーザーへの効	浜ハマ松マツホトニクス株式会社カブシキガイシャ開発本部	杉山　厚志		電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡	9
	2010-TTF-26	超微細チョウビサイ加工カコウ	共同キョウドウ研究ケンキュウ	シリコン基板上80-nm AlGaN/GaN HEMT	國クニ立リツ交通コウツウ大学ダイガク	張チョウ　翼ツバサ	教授キョウジュ	電子ビーム露光装置	8
	2010-TTF-27	超微細チョウビサイ加工カコウ	技術ギジュツ代行ダイコウ	微細加工による強磁性半導体(Ga,Mn)Asの磁気異方性と磁化反転機構の変化	東工大トウコウダイ・理工リコウ・物質科学創造専攻・北本キタモト研ケン	北本　仁孝	准ジュン教授キョウジュ	電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・電子ビーム蒸着装置	15
	2010-TTF-28	超微細チョウビサイ加工カコウ	技術ギジュツ代行ダイコウ	グラフェン端の局所電子構造の解析	東工大トウコウダイ・理工・化学専攻・榎研究室	高井タカイ　和之カズノリ	助教	電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置・電子ビーム蒸着装置	10
	2010-TTF-29	超微細チョウビサイ加工カコウ	技術ギジュツ代行ダイコウ	位置合わせEBリソグラフィーにより作製したパターニングゲートを有する強誘電体ゲートTFT	JST-ERATO下田ナノ液体プロセスプロジェクト	宮迫　毅明	研究員ケンキュウイン	電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡	9
	2010-TTF-30	超微細チョウビサイ加工カコウ	技術ギジュツ代行ダイコウ	2次元プラズモニック結晶のSPP定在波モード	東工大トウコウダイ・理工・物性物理学専攻・山本ヤマモト研ケン	山本　直紀	准ジュン教授キョウジュ	電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置・電子ビーム蒸着装置	10
	2010-TTF-31	超微細チョウビサイ加工カコウ	共同キョウドウ研究ケンキュウ	シリコン基板上80-nm マルチゲートAlGaN/GaN HEMT	國クニ立リツ交通コウツウ大学ダイガク	張チョウ　翼ツバサ	教授キョウジュ	電子ビーム露光装置	8
	2010-TTF-32	超微細チョウビサイ加工カコウ	技術ギジュツ代行ダイコウ	ArF用メタクリル系ポリマーへのフラーレン誘導体添加によるEB感度への影響	三菱化学株式会社フラーレン開発グループ	田中　克知	チームリーダー	電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡	4
	2010-TTF-33	超微細チョウビサイ加工カコウ	共同キョウドウ研究ケンキュウ	GaMnAs/AlAs/MnAs:GaAs 磁気トンネル接合の電流電圧特性	東工大トウコウダイ・理工・物性物理学専攻・吉野ヨシノ淳二ジュンジ研ケン	吉野ヨシノ　淳二ジュンジ	教授キョウジュ	電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・電子ビーム蒸着装置	7
	2010-TTF-34	超微細チョウビサイ加工カコウ	技術ギジュツ代行ダイコウ	AlGaAsSbキャリア供給層を用いたメタモルフィック高電子移動度トランジスタ(mHEMT)の作製と評価 ( II )	旭化成エレクトロニクス株式会社	山田　哲史	主査	電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡	12
	2010-TTF-35	超微細チョウビサイ加工カコウ	技術ギジュツ代行ダイコウ	EBリソグラフィーとドライエッチングプロセスを用いたサブミクロンチャネル長強誘電体ゲートTFT向けナノインプリントモールドの作製	JST-ERATO下田ナノ液体プロセスプロジェクト	宮迫　毅明	研究員ケンキュウイン	電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡	9
	2010-TTF-36	超微細チョウビサイ加工カコウ	技術ギジュツ代行ダイコウ	電子ビーム露光を用いたドットパターンの作製（その２）	株式会社デンソー　機能材料研究部	鈴木　義信	担当課長	電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡	7
	2010-TTF-37	超微細チョウビサイ加工カコウ	技術ギジュツ代行ダイコウ	フラーレン薄膜のEB照射によるポリマー化検討	三菱化学株式会社フラーレン開発グループ	田中　克知	チームリーダー	電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡	4
	2010-TTF-38	超微細チョウビサイ加工カコウ	共同キョウドウ研究ケンキュウ	40 nmInAs HEMTのシングル/デュアルゲートでの論理性能比較	國クニ立リツ交通コウツウ大学ダイガク	張チョウ　翼ツバサ	教授キョウジュ	電子ビーム露光装置	8
	2010-TTF-39	超微細チョウビサイ加工カコウ	技術ギジュツ代行ダイコウ	強磁性半導体(Ga,Mn)Asドットアレイの光励起歳差運動	東工大トウコウダイ・理工リコウ・物質科学創造専攻・北本キタモト研ケン	北本　仁孝	准ジュン教授キョウジュ	電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・電子ビーム蒸着装置	16
	2010-TTF-40	超微細チョウビサイ加工カコウ	技術ギジュツ代行ダイコウ	sub-100nm サイズのチャネル長を有する強誘電体ゲートTFTを作製するための新しいパターニング方法	JST-ERATO下田ナノ液体プロセスプロジェクト	宮迫　毅明	研究員ケンキュウイン	電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡	8
	2010-TTF-41	超微細チョウビサイ加工カコウ	技術ギジュツ代行ダイコウ	HSQレジストに対するチャージアップ防止剤の影響	昭和電工�M　研究開発センター	大久保　隆	シニアリサーチャー	電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡	13
	2010-TTF-42	超微細チョウビサイ加工カコウ	共同キョウドウ研究ケンキュウ	ミリ波低雑音応用に向けたフリップチップ実装80-nm In0.7Ga0.3As MHEMT	國立交通大学	張　翼	教授キョウジュ	電子ビーム露光装置	9
		注チュウ１．必要に応じて行数を増やして記載して下クダさい
		注チュウ2．成果セイカ公開コウカイ猶予ユウヨについては課題カダイ名メイ覧ランに「公開コウカイ猶予」を記載キサイしてください