平成ヘイセイ２３年度ネンド支援シエン課題カダイ一覧イチラン 　
支援シエン機関キカン名メイ 課題カダイ番号バンゴウ 支援シエン機能キノウ名メイ 業務ギョウム形態ケイタイ名メイ 実施ジッシ課題カダイ名メイ 申請者シンセイシャの所属ショゾク 申請者シンセイシャ 役職ヤクショク 主オモな利用リヨウ装置ソウチ名メイ 主な利用装置の利用リヨウ日数ニッスウ 被災ヒサイ研究者ケンキュウシャ対応
東京トウキョウ工業コウギョウ大学ダイガク 2011-TTF-1 超微細チョウビサイ加工カコウ 技術ギジュツ代行ダイコウ ソルーゲル法によるITOチャネルと積層したBLT/PZT絶縁体によるサブミクロン強誘電体ゲート薄膜トランジスタの動作
 JST-ERATO下田ナノ液体プロセスプロジェクト 宮迫　毅明 研究員 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡 6 　
　 2011-TTF-2 超微細チョウビサイ加工カコウ 技術ギジュツ代行ダイコウ フッ素原子を有するフラーレン誘導体を用いたポジ型化学増幅型レジストのEB露光での感度評価
 三菱化学株式会社フラーレン開発グループ 橋口　昌彦 リサーチャー 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡 4 　
　 2011-TTF-3 超微細チョウビサイ加工カコウ 技術ギジュツ代行ダイコウ AlGaAsSbキャリア供給層を用いたメタモルフィック高電子移動度トランジスタ(mHEMT)の作製と評価 ( I ) 旭化成エレクトロニクス株式会社 山田　哲史 主査 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡 7 　
　 2011-TTF-4 超微細チョウビサイ加工カコウ 技術ギジュツ代行ダイコウ HSQ-レジストへのチャージアップ防止剤の増感効果の検討 昭和電工⑭　研究開発センター 大久保　隆 シニアリサーチャー 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡 10 　
　 2011-TTF-5 超微細チョウビサイ加工カコウ 共同キョウドウ研究ケンキュウ AlSb/InAs HEMT低電圧動作の為の BCl3 ICP ドライエッチング 國クニ立リツ交通コウツウ大学ダイガク 張チョウ　翼ツバサ 教授キョウジュ 電子ビーム露光装置 7 　
　 2011-TTF-6 超微細チョウビサイ加工カコウ 技術ギジュツ代行ダイコウ サブミクロン強誘電体ゲート薄膜トランジスタの為のゲートパターン作製後の電子ビーム露光位置合わせ
 JST-ERATO下田ナノ液体プロセスプロジェクト 宮迫　毅明 研究員 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡 6 　
　 2011-TTF-7 超微細チョウビサイ加工カコウ 技術ギジュツ代行ダイコウ 波長6μm量子カスケードレーザーへの位相シフト分布帰還の効果 浜松ホトニクス株式会社開発本部 吉田治正 グループ長チョウ 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡 10 　
　 2011-TTF-8 超微細チョウビサイ加工カコウ 技術ギジュツ代行ダイコウ プラズモニック結晶からのSmith-Purcell放射 東工大トウコウダイ・理工・物性物理学専攻・山本ヤマモト研ケン 山本　直紀 准ジュン教授キョウジュ 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置・電子ビーム蒸着装置 11 　
　 2011-TTF-9 超微細チョウビサイ加工カコウ 共同キョウドウ研究ケンキュウ Ge/Si基板上GaAs成長における昇温時のヒ素層形成の効果 國クニ立リツ交通コウツウ大学ダイガク 張チョウ　翼ツバサ 教授キョウジュ 電子ビーム露光装置 7 　
　 2011-TTF-10 超微細チョウビサイ加工カコウ 技術ギジュツ代行ダイコウ AlGaAsSbキャリア供給層を用いたメタモルフィック高電子移動度トランジスタ(mHEMT)の作製と評価 ( II ) 旭化成エレクトロニクス株式会社 山田　哲史 主査 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡 7 　
　 2011-TTF-11 超微細チョウビサイ加工カコウ 技術ギジュツ代行ダイコウ アンチドットグラフェンにおける電子輸送現象 東工大・理工・化学専攻・榎研究室 高井タカイ　和之カズノリ 助教 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置・電子ビーム蒸着装置 10 　
　 2011-TTF-12 超微細チョウビサイ加工カコウ 技術ギジュツ代行ダイコウ 共鳴周波数可変なエッジマグネトプラズモン共振器 東工大トウコウダイ・理工・物性物理学専攻・藤澤フジサワ研ケン 藤澤利正 教授キョウジュ 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・電子ビーム蒸着装置 19 　
　 2011-TTF-13 超微細チョウビサイ加工カコウ 共同キョウドウ研究ケンキュウ ALD形成Al2O3によるGaAs基板上にエピタキシャル成長Ge　MOSキャパシタのC-V 特性 國クニ立リツ交通コウツウ大学ダイガク 張チョウ　翼ツバサ 教授キョウジュ 電子ビーム露光装置 7 　
　 2011-TTF-14 超微細チョウビサイ加工カコウ 技術ギジュツ代行ダイコウ 100nm以下のゲート長を持つ強誘電体薄膜トランジスタの作製方法 JST-ERATO下田ナノ液体プロセスプロジェクト 宮迫　毅明 研究員 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡 6 　
　 2011-TTF-15 超微細チョウビサイ加工カコウ 技術ギジュツ代行ダイコウ メチル基を有するフラーレン誘導体を用いたポジ型化学増幅型レジストのEB露光での感度評価
 三菱化学株式会社フラーレン開発グループ 橋口　昌彦 リサーチャー 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡 4 　
　 2011-TTF-16 超微細チョウビサイ加工カコウ 技術ギジュツ代行ダイコウ HSQレジストの感度低下に対するチャージアップ防止剤の増感効果の検討 昭和電工⑭　研究開発センター 大久保　隆 シニアリサーチャー 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡 11 　
　 2011-TTF-17 超微細チョウビサイ加工カコウ 技術ギジュツ代行ダイコウ 1次元プラズモニック結晶中の表面プラズモンポラリトン 東工大トウコウダイ・理工・物性物理学専攻・山本ヤマモト研ケン 山本　直紀 准ジュン教授キョウジュ 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置・電子ビーム蒸着装置 11 　
　 2011-TTF-18 超微細チョウビサイ加工カコウ 技術ギジュツ代行ダイコウ 欠陥をもつグラフェンの電子輸送に寄与する散乱源 東工大・理工・化学専攻・榎研究室 高井タカイ　和之カズノリ 助教 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置・電子ビーム蒸着装置 10 　
　 2011-TTF-19 超微細チョウビサイ加工カコウ 共同キョウドウ研究ケンキュウ SiC基板上に成長した0.2-um AlGaN/GaN HEMTs 國クニ立リツ交通コウツウ大学ダイガク 張チョウ　翼ツバサ 教授キョウジュ 電子ビーム露光装置 6 　
　 2011-TTF-20 超微細チョウビサイ加工カコウ 技術ギジュツ代行ダイコウ 斜方電子線入射によるSi基板上のナノ構造の走査電子顕微鏡観察
 独立行政法人理化学研究所 湊　丈俊 客員研究員 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡 2 　
　 2011-TTF-21 超微細チョウビサイ加工カコウ 技術ギジュツ代行ダイコウ フラーレン誘導体を用いたポジ型化学増幅型レジストのＥＢ露光での保護基依存性
 三菱化学株式会社フラーレン開発グループ 橋口　昌彦 リサーチャー 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡 5 　
　 2011-TTF-22 超微細チョウビサイ加工カコウ 技術ギジュツ代行ダイコウ 波長4.3μm量子カスケードレーザーへの位相シフト分布帰還の効果 浜松ホトニクス株式会社開発本部 吉田治正 グループ長チョウ 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡 10 　
　 2011-TTF-23 超微細チョウビサイ加工カコウ 技術ギジュツ代行ダイコウ AlGaAsSbキャリア供給層を用いたメタモルフィック高電子移動度トランジスタ(mHEMT)の作製と評価 ( III ) 旭化成エレクトロニクス株式会社 山田　哲史 主査 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡 7 　
　 2011-TTF-24 超微細チョウビサイ加工カコウ 共同キョウドウ研究ケンキュウ MnAs/AlAs/MnAs:GaAs 磁気トンネル接合の磁気輸送特性 東工大トウコウダイ・理工・物性物理学専攻・吉野ヨシノ淳二ジュンジ研ケン 吉野ヨシノ　淳二ジュンジ 教授キョウジュ 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・電子ビーム蒸着装置 8 　
　 2011-TTF-25 超微細チョウビサイ加工カコウ 技術ギジュツ代行ダイコウ カソードルミネッセンス法による表面プラズモン導波路の研究 東工大トウコウダイ・理工・物性物理学専攻・山本ヤマモト研ケン 山本　直紀 准ジュン教授キョウジュ 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置・電子ビーム蒸着装置 11 　
　 2011-TTF-26 超微細チョウビサイ加工カコウ 技術ギジュツ代行ダイコウ フッ化グラフェンの電気的特性評価 東工大トウコウダイ・理工・電子デンシ物理ブツリ工学コウガク専攻センコウ・波多野ハタノ研ケン 波多野ハタノ　睦子ムツコ 教授キョウジュ 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・電子ビーム蒸着装置 14 　
　 2011-TTF-27 超微細チョウビサイ加工カコウ 技術ギジュツ代行ダイコウ チップ増強法による表面プラズモン分布の観察 東工大トウコウダイ・理工・物性物理学専攻・南ミナミ研ケン 南ミナミ　不二雄フジオ 教授キョウジュ 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・電子ビーム蒸着装置 14 　
　 2011-TTF-28 超微細チョウビサイ加工カコウ 共同キョウドウ研究ケンキュウ 多フィンガーゲート構造によるシリコン基板上形成 國クニ立リツ交通コウツウ大学ダイガク 張チョウ　翼ツバサ 教授キョウジュ 電子ビーム露光装置 6 　
　 2011-TTF-29 超微細チョウビサイ加工カコウ 技術ギジュツ代行ダイコウ パターニングSiを用いた金ナノロッドの集積化 独立行政法人理化学研究所 湊　丈俊 客員キャクイン研究員ケンキュウイン 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡 3 　
　 2011-TTF-30 超微細チョウビサイ加工カコウ 技術ギジュツ代行ダイコウ 波長4.5μm量子カスケードレーザーへの位相シフト分布帰還の効果 浜松ホトニクス株式会社開発本部 吉田治正 グループ長チョウ 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡 10 　
　 2011-TTF-31 超微細チョウビサイ加工カコウ 技術ギジュツ代行ダイコウ ２次元六方格子プラズモニック結晶のバンドギャップ 東工大トウコウダイ・理工・物性物理学専攻・山本ヤマモト研ケン 山本　直紀 准ジュン教授キョウジュ 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置・電子ビーム蒸着装置 11 　
　 2011-TTF-32 超微細チョウビサイ加工カコウ 技術ギジュツ代行ダイコウ 電子輸送特性の解析によるグラフェン上酸素吸着への電界効果の解明 東工大・理工・化学専攻・榎研究室 高井タカイ　和之カズノリ 助教 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置・電子ビーム蒸着装置 10 　
　 2011-TTF-33 超微細チョウビサイ加工カコウ 技術ギジュツ代行ダイコウ 周期的金属構造による表面弾性波共振器 東工大トウコウダイ・理工・物性物理学専攻・藤澤フジサワ研ケン 藤澤利正 教授キョウジュ 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・電子ビーム蒸着装置 19 　
　 2011-TTF-34 超微細チョウビサイ加工カコウ 共同キョウドウ研究ケンキュウ HfO2 ゲート絶縁膜を用いたSiC基板上0.2um AlGaN/GaN  國クニ立リツ交通コウツウ大学ダイガク 張チョウ　翼ツバサ 教授キョウジュ 電子ビーム露光装置 6 　
　 2011-TTF-35 超微細チョウビサイ加工カコウ 技術ギジュツ代行ダイコウ 集積化金ナノロッドの有機シランの酸化反応に対する触媒活性 独立行政法人理化学研究所 湊　丈俊 客員研究員 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡 3 　
　 2011-TTF-36 超微細チョウビサイ加工カコウ 技術ギジュツ代行ダイコウ フラーレン誘導体を用いたポジ型化学増幅型レジストのEB露光におけるPAG種類の影響
 三菱化学株式会社フラーレン開発グループ 橋口　昌彦 リサーチャー 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡 5 　
　 2011-TTF-37 超微細チョウビサイ加工カコウ 技術ギジュツ代行ダイコウ 1次元プラズモニック結晶中のCavityモード 東工大トウコウダイ・理工・物性物理学専攻・山本ヤマモト研ケン 山本　直紀 准ジュン教授キョウジュ 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置・電子ビーム蒸着装置 10 　
　 2011-TTF-38 超微細チョウビサイ加工カコウ 共同キョウドウ研究ケンキュウ In0.6Ga0.4AsメタモルフィックHEMTsを用いたV-帯フリップチップ実装増幅器
 國クニ立リツ交通コウツウ大学ダイガク 張チョウ　翼ツバサ 教授キョウジュ 電子ビーム露光装置 6 　
　 2011-TTF-39 超微細チョウビサイ加工カコウ 技術ギジュツ代行ダイコウ π共役を縮小した新規フラーレン誘導体を用いたポジ型化学増幅型レジストのEB露光での感度評価
 三菱化学株式会社フラーレン開発グループ 橋口　昌彦 リサーチャー 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡 5 　
　 2011-TTF-40 超微細チョウビサイ加工カコウ 共同キョウドウ研究ケンキュウ 可変成形電子ビーム露光によるSi細線導波路の観察 東工大トウコウダイ・理工・電気デンキ電子デンシ工学コウガク専攻・西山ニシヤマ研ケン 西山ニシヤマ　伸彦ノブヒコ 准ジュン教授キョウジュ 走査ソウサ電子デンシ顕微鏡ケンビキョウ・描画ビョウガデータ生成セイセイ用ヨウパソコン 22 　
　 2011-TTF-41 超微細チョウビサイ加工カコウ 技術ギジュツ代行ダイコウ パターニングSi上に集積化した金ナノロッドの表面増強ラマン散乱
 独立行政法人理化学研究所 湊　丈俊 客員研究員 電子ビーム露光装置・走査電子顕微鏡 3 　
注チュウ１．必要に応じて行数を増やして記載して下クダさい
注チュウ2．成果セイカ公開コウカイ猶予ユウヨについては課題カダイ名メイ覧ランに「公開コウカイ猶予」を記載キサイしてください
注チュウ3．震災シンサイ研究ケンキュウ者シャ対応タイオウで、ナノネット他機関ユーザーへの対応の場合バアイは�@、被災した機関からの新規ユーザーへの対応タイオウの場合バアイは�Aを記載キサイしてください