令和２年度　成果セイカ非公開ヒコウカイ利用リヨウ一覧イチラン
ＰＦ名メイ	実施ジッシ機関名キカンメイ	整理セイリ番号バンゴウ	利用リヨウ形態ケイタイ	利用者リヨウシャ 所属区分クブン	分野ブンヤ・業種ギョウシュ等トウ	利用リヨウ設備セツビ名メイ	利用リヨウ日数ニッスウ	利用料リヨウリョウ、 対価タイカ等トウ	備考ビコウ
微細加工 プラットフォーム	東京工業大学	1	技術代行	企業（大企業）	半導体ハンドウタイ・電子デンシ部品ブヒン製造業セイゾウギョウ	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他ホカ、	214	1,980,000
		2	技術代行	企業（大企業）	半導体ハンドウタイ・電子デンシ部品ブヒン製造業セイゾウギョウ	原子層堆積装置	4	332,100
		3	技術代行	企業（大企業）	半導体ハンドウタイ・電子デンシ部品ブヒン製造業セイゾウギョウ	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他ホカ	42	220,000
		4	技術代行	企業（大企業）	精密セイミツ機器キキ・産業サンギョウ機械キカイ製造業セイゾウギョウ	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	133	1,100,000
		5	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	21	1,155,000
		6	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	21	1,155,000
		7	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	20	1,100,000
		8	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	19	1,045,000
		9	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	19	1,045,000
		10	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	19	1,045,000
		11	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	19	1,045,000
		12	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	19	1,045,000
		13	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	19	1,045,000
		14	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	19	1,045,000
		15	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	19	1,045,000
		16	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	19	1,045,000
		17	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	20	1,100,000
		18	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	20	1,100,000
		19	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	20	1,100,000
		20	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	20	1,100,000
		21	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	20	1,100,000
		22	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	20	1,100,000
		23	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	20	1,100,000
		24	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	20	1,100,000
		25	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	20	1,100,000
		26	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	20	1,100,000
		27	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	20	1,100,000
		28	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	20	1,100,000
		29	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	20	1,100,000
		30	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	22	1,210,000
		31	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	22	1,210,000
		32	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	21	1,155,000
		33	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	20	1,100,000
		34	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	22	1,210,000
		35	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	22	1,210,000
		36	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	21	1,155,000
		37	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	21	1,155,000
		38	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	電子ビーム露光装置　(スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む）他	20	1,100,000
		39	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	マスクレス露光装置	52	501,600
		40	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	走査型電子顕微鏡	51	1,776,000
		41	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	走査型電子顕微鏡	58	315,700
		42	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	ダイシングソー	11	7,700
		43	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	ダイシングソー	9	6,300
		44	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	ダイシングソー	75	70,700
		45	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	高真空蒸着装置	14	187,200
		46	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	触針式段差計	15	8,500
		47	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	スパッタ成膜装置	4	162,000
		48	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	走査型電子顕微鏡	16	288,000
		49	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	走査型電子顕微鏡	5	90,000
		50	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	走査型電子顕微鏡	9	162,000
		51	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	イオンミリング装置	3	33,300
		52	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	イオンミリング装置	31	869,200
		53	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	共焦点ラマン顕微鏡	1	92,000
		54	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	マスクレス露光装置	35	4,195,800
		55	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	高真空蒸着装置	49	1,869,900
		56	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	リアクテブイオンエッチング装置	10	498,000
		57	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	走査型電子顕微鏡	19	621,600
		58	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	プラズマCVD 装置	4	88,000
		59	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	プラズマCVD 装置	3	115,800
		60	機器利用	大学等	教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン	リアクテブイオンエッチング装置	3	49,500
	企業キギョウ（大企業ダイキギョウ）	ア	有機ユウキ材料ザイリョウ
	企業キギョウ（中小チュウショウ企業キギョウ）	ア	電子デンシ・磁性ジセイ・金属キンゾク・無機ムキ材料ザイリョウ
	企業キギョウ（その他タ）	ア	繊維センイ・窯業ヨウギョウ・紙カミ・パルプ
	その他タ	ア	食品ショクヒン・飲料インリョウ
			化粧品ケショウヒン・トイレタリー
			医療イリョウ・医薬品イヤクヒン
			精密セイミツ機器キキ・産業サンギョウ機械キカイ製造業セイゾウギョウ
			医療イリョウ機器キキ製造業セイゾウギョウ
			分析ブンセキ・計測ケイソク機器キキ
			電気デンキ・電子デンシ機器キキ・総合ソウゴウ電機デンキ
			半導体ハンドウタイ・電子デンシ部品ブヒン製造業セイゾウギョウ
			自動車ジドウシャ・輸送ユソウ・運輸ウンユ機器キキ・部品ブヒン製造業セイゾウギョウ
			鉄鋼テッコウ・非鉄ヒテツ金属キンゾク製造業セイゾウギョウ
			商社ショウシャ・代理店ダイリテン・流通リュウツウ・小売業コウリギョウ
			電力デンリョク・ガス・石油セキユ・その他タエネルギー
			建設ケンセツ・不動産フドウサン
			情報ジョウホウ・通信ツウシン
			金融キンユウ・投資トウシ・コンサルティング
			シンクタンク
			水産スイサン・農林ノウリン・鉱業コウギョウ
			報道ホウドウ・メディア・出版シュッパン
			外国ガイコク公館コウカン・機関キカン・団体ダンタイ
			官公庁カンコウチョウ・自治体ジチタイ・地方チホウ公共コウキョウ団体ダンタイ
			教育キョウイク・研究ケンキュウ機関キカン
			その他タ
	大学ダイガク等トウ	イ	総合ソウゴウ領域リョウイキ
	大学ダイガク等トウ（学外ガクガイ）	イ	複合フクゴウ新領域シンリョウイキ
	公的コウテキ研究ケンキュウ機関キカン	イ	数スウ物ブツ系ケイ科学カガク領域リョウイキ
			化学カガク領域リョウイキ（基礎キソ化学カガク、複合フクゴウ化学カガク、材料ザイリョウ化学カガク）
			工学コウガク領域リョウイキ（応用オウヨウ物理ブツリ・工学コウガク基礎キソ、機械キカイ、電気デンキ電子デンシ工学コウガク、材料ザイリョウ、プロセス、その他タ）
			生物学セイブツガク領域リョウイキ
			農学ノウガク領域リョウイキ
			医歯薬イシヤク学ガク領域リョウイキ
			その他タ領域リョウイキ
	=INDIRECT(VLOOKUP($E7,$B$39:$C$72,2,FALSE))