課題カダイ番号バンゴウ 支援機能名シエンキノウ 業務形態名ギョウム 実施ジッシ課題カダイメイ 支援者シエンシャ所属ショゾク 申請者シンセイシャ オモ利用リヨウ装置ソウチメイ
2008-東工大トウコウダイ-01 チョウ微細加工 共同研究 超低パワーLNA応用の為のInAs/InGaAsチャネル 台灣國立交通大學 張 翼 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ
2008-東工大トウコウダイ-02 チョウ微細加工 技術ギジュツ代行ダイコウ 1次元及び2次元位相シフトグレーティングマスクの評価 南京ナンキン大学ダイガク クンジー・チェン 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置ソウチ
2008-東工大トウコウダイ-03 チョウ微細加工 技術ギジュツ代行ダイコウ 新しいポジ型化学増幅型レジストを用いたチャージアップ防止剤の評価条件の検討 昭和ショウワ電工デンコウ株式会社カブシキガイシャ 大久保オオクボ タカシ 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ・走査電子顕微鏡
2008-東工大トウコウダイ-04 チョウ微細加工 共同研究 GaMnAs二重障壁磁気トンネル接合への高電流注入による磁気抵抗ゆらぎ 東工大トウコウダイ理工リコウ物性ブッセイ物理学ブツリガク専攻センコウ吉野ヨシノケン 吉野ヨシノ 淳二ジュンジ 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ・走査電子顕微鏡・蒸着器ジョウチャクキ・マスクアライナ
2008-東工大トウコウダイ-05 チョウ微細加工 技術ギジュツ代行ダイコウ ナノグラフェン孔構造の作製と評価 東工大トウコウダイ理工リコウ化学カガク専攻センコウ エノキケン 高井 和之 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ
2008-東工大トウコウダイ-06 チョウ微細加工 技術ギジュツ代行ダイコウ 電子ビーム露光と無電解金メッキ法を用いた分子ナノデバイスの試作に関する研究 東工大トウコウダイ理工リコウ電子デンシ物理ブツリ工学コウガク専攻センコウ真島マジマケン 真島マジマ ユタカ 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ・走査電子顕微鏡・蒸着器ジョウチャクキ
2008-東工大トウコウダイ-07 チョウ微細加工 技術ギジュツ代行ダイコウ 単一カーボンナノチューブの発光測定 東工大トウコウダイ理工リコウ物性ブッセイ物理学ブツリガク専攻センコウミナミケン 南不二雄 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ・走査電子顕微鏡
2008-東工大トウコウダイ-08 チョウ微細加工 技術ギジュツ代行ダイコウ 新しいポジ型化学増幅型レジストを用いたチャージアップ防止剤の評価 昭和ショウワ電工デンコウ株式会社カブシキガイシャ 大久保オオクボ タカシ 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ・走査電子顕微鏡
2008-東工大トウコウダイ-09 チョウ微細加工 技術ギジュツ代行ダイコウ レーザ干渉結晶化による1次元及び2次元ナノ結晶シリコンアレイの直接作製 南京ナンキン大学ダイガク クンジー・チェン 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置ソウチ
2008-東工大トウコウダイ-10 チョウ微細加工 共同研究 高速・低消費電力デジタル応用の為のInAs QWFETs 台灣國立交通大學 張 翼 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ
2008-東工大トウコウダイ-11 計測ケイソク分析ブンセキ 共同キョウドウ研究ケンキュウ 電磁力衝撃圧着した異材接合材の界面組織 東工大トウコウダイ・ ・材料ザイリョウ物理ブツリ科学カガク専攻センコウ熊井クマイケン 熊井クマイ 真次シンジ 日立ヒタチチョウ高圧コウアツ電子デンシ顕微鏡ケンビキョウH-1250Sケイ
2008-東工大トウコウダイ-12 チョウ微細加工 技術ギジュツ代行ダイコウ 電子線レジストZEP520Aへのフラーレン誘導体添加による感度への影響 フロンティアカーボン株式会社カブシキガイシャ 田中 克知 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ・走査電子顕微鏡
2008-東工大トウコウダイ-13 チョウ微細加工 共同研究 GaMnAs二重トンネル接合における電流注入磁化反転の低閾値化メカニズムの解明 東工大トウコウダイ理工リコウ物性ブッセイ物理学ブツリガク専攻センコウ吉野ヨシノケン 吉野ヨシノ 淳二ジュンジ 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ・走査電子顕微鏡・蒸着器ジョウチャクキ・マスクアライナ
2008-東工大トウコウダイ-14 チョウ微細加工 技術ギジュツ代行ダイコウ 電子線描画による石英上ワイヤーグリッド偏光子の作成 株式会社カブシキガイシャサンリッツ 高橋タカハシ 泰広ヤスヒロ 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ・走査電子顕微鏡
2008-東工大トウコウダイ-15 チョウ微細加工 技術ギジュツ代行ダイコウ チャージアップ防止剤を用いた新しいp-CARへのPEB条件の評価 昭和ショウワ電工デンコウ株式会社カブシキガイシャ 大久保オオクボ タカシ 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ・走査電子顕微鏡
2008-東工大トウコウダイ-16 計測ケイソク分析ブンセキ 共同キョウドウ研究ケンキュウ 温間バルジ成形によるマグネシウム合金製T継手の製造― 押出し材の機械的特性と結晶組織 ― 法政ホウセイ大学ダイガク工学部コウガクブ機械キカイ工学科コウガクカ直井ナオイケン 直井ナオイ ヒサシ 日立ヒタチチョウ高圧コウアツ電子デンシ顕微鏡ケンビキョウH-1250Sケイ
2008-東工大トウコウダイ-17 チョウ微細加工 技術ギジュツ代行ダイコウ 電子線レジストZEP520Aへのフラーレン誘導体添加による解像性への影響 フロンティアカーボン株式会社カブシキガイシャ 田中 克知 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ・走査電子顕微鏡
2008-東工大トウコウダイ-18 チョウ微細加工 技術ギジュツ代行ダイコウ レーザー蒸着によるナノグラフェンの作製 東工大トウコウダイ理工リコウ化学カガク専攻センコウ エノキケン 高井 和之 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ
2008-東工大トウコウダイ-19 チョウ微細加工 技術ギジュツ代行ダイコウ 金属フォトニック結晶からのSmith-Purcell放射 東工大トウコウダイ理工リコウ物性ブッセイ物理ブツリ専攻センコウ山本ヤマモトケン 山本ヤマモト 直紀ナオキ 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ・走査電子顕微鏡・蒸着器ジョウチャクキ・リアクティブイオンエッチング装置ソウチ
2008-東工大トウコウダイ-20 チョウ微細加工 技術ギジュツ代行ダイコウ ナノギャップ電極作製を目指したEBリソグラフィー法における精密アライメント 分子ブンシ科学カガク研究ケンキュウジョ 日野ヒノ 貴美キミ 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ・走査電子顕微鏡・蒸着器ジョウチャクキ
2008-東工大トウコウダイ-21 チョウ微細加工 共同研究 微細加工技術を利用したテラヘルツデバイスの作製 キヤノン株式会社カブシキガイシャ 尾内 敏彦 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ蒸着器ジョウチャクキ・マスクアライナ・リアクティブイオンエッチング装置ソウチ・プラズマCVD装置ソウチ
2008-東工大トウコウダイ-22 計測ケイソク分析ブンセキ 共同キョウドウ研究ケンキュウ 鉄系形状記憶合金の形状回復応力特性 法政ホウセイ大学ダイガク工学部コウガクブ機械キカイ工学科コウガクカ直井ナオイケン 直井ナオイ ヒサシ 日立ヒタチチョウ高圧コウアツ電子デンシ顕微鏡ケンビキョウH-1250Sケイ
2008-東工大トウコウダイ-23 チョウ微細加工 技術ギジュツ代行ダイコウ 電子線レジストZEP520Aへのフラーレン誘導体添加によるエッチング耐性への影響 フロンティアカーボン株式会社カブシキガイシャ 田中 克知 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置ソウチ
2008-東工大トウコウダイ-24 チョウ微細加工 技術ギジュツ代行ダイコウ 精密アライメントEBリソグラフィー法によるナノギャップ電極作製 分子ブンシ科学カガク研究ケンキュウジョ 日野ヒノ 貴美キミ 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ・走査電子顕微鏡・蒸着器ジョウチャクキ
2008-東工大トウコウダイ-25 チョウ微細加工 共同研究 GaAs基板上のZrO2 high-k 誘電体によるメタモルフィック In0.53Ga0.47As 金属-酸化物-半導体構造 台灣國立交通大學 張 翼 走査ソウサガタ電子顕微鏡デンシケンビキョウ
2008-東工大トウコウダイ-26 チョウ微細加工 技術ギジュツ代行ダイコウ 電子線描画による無アルカリガラス上ワイヤーグリッド偏光子の作成 株式会社カブシキガイシャサンリッツ 高橋タカハシ 泰広ヤスヒロ 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ・走査電子顕微鏡
2008-東工大トウコウダイ-27 チョウ微細加工 技術ギジュツ代行ダイコウ 電子ビーム露光と磁性ナノ粒子を用いたトンネル磁気抵抗素子の試作に関する研究 東工大トウコウダイ理工リコウ電子デンシ物理ブツリ工学コウガク専攻センコウ真島マジマケン 真島マジマ ユタカ 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ・走査電子顕微鏡・蒸着器ジョウチャクキ
2008-東工大トウコウダイ-28 チョウ微細加工 技術ギジュツ代行ダイコウ 酒石酸ウェットエッチングによるGaAs回折格子形成 株式会社カブシキガイシャQDレーザ 近藤コンドウ 勇人ユウト 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ蒸着器ジョウチャクキ・マスクアライナ・リアクティブイオンエッチング装置ソウチ・プラズマCVD装置ソウチ
2008-東工大トウコウダイ-29 チョウ微細加工 技術ギジュツ代行ダイコウ ナノギャップ電極作製に向けたEBリソグラフィー法によるPtパターンの作製 分子ブンシ科学カガク研究ケンキュウジョ 日野ヒノ 貴美キミ 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ・走査電子顕微鏡・蒸着器ジョウチャクキ
2008-東工大トウコウダイ-30 チョウ微細ビサイカ加工カコウ 技術ギジュツ代行ダイコウ p-CAR向けのチャージアップ防止剤の添加剤の検討 昭和ショウワ電工デンコウ株式会社カブシキガイシャ 大久保オオクボ タカシ 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ・走査電子顕微鏡
2008-東工大トウコウダイ-31 チョウ微細加工 技術ギジュツ代行ダイコウ 電子線レジストZEP520Aへのフラーレン誘導体添加による耐熱性への影響 フロンティアカーボン株式会社カブシキガイシャ 田中 克知 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ・走査電子顕微鏡
2008-東工大トウコウダイ-32 チョウ微細加工 技術ギジュツ代行ダイコウ 端部位を持つグラフェンの作製とその構造 東工大トウコウダイ理工リコウ化学カガク専攻センコウ エノキケン 高井 和之 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ
2008-東工大トウコウダイ-33 計測ケイソク分析ブンセキ 共同キョウドウ研究ケンキュウ ナノ結晶シリコンドットへの不純物ドーピング 東工大トウコウダイ理工リコウ電子デンシ物理ブツリ工学コウガク専攻センコウ小田オダケン 小田オダ シュン 日本ニホン電子デンシJEM-2010カタ電子デンシ顕微鏡ケンビキョウ、イオンミリング装置ソウチ
2008-東工大トウコウダイ-34 チョウ微細加工 共同研究 低電圧・高速応用の為の45nm 複合InAs-HEMTs 台灣國立交通大學 張 翼 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ
2008-東工大トウコウダイ-35 チョウ微細加工 技術ギジュツ代行ダイコウ Pt親構造を有する基板上へのAg/Ag2S微細パターン形成 分子ブンシ科学カガク研究ケンキュウジョ 日野ヒノ 貴美キミ 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ・走査電子顕微鏡・蒸着器ジョウチャクキ
2008-東工大トウコウダイ-36 チョウ微細加工 技術ギジュツ代行ダイコウ 電子線レジストOEBR-1000LBへのフラーレン誘導体添加によるエッチング耐性への影響 フロンティアカーボン株式会社カブシキガイシャ 田中 克知 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ・走査電子顕微鏡・リアクティブイオンエッチング装置ソウチ
2008-東工大トウコウダイ-37 チョウ微細加工 技術ギジュツ代行ダイコウ 1次元プラズモニック結晶のバンドギャップ 東工大トウコウダイ理工リコウ物性ブッセイ物理ブツリ専攻センコウ山本ヤマモトケン 山本ヤマモト 直紀ナオキ 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ・走査電子顕微鏡・蒸着器ジョウチャクキ
2008-東工大トウコウダイ-38 チョウ微細加工 共同研究 GaMnAsを磁性層とする二重障壁型磁気トンネル接合の形成プロセス検討 東工大トウコウダイ理工リコウ物性ブッセイ物理学ブツリガク専攻センコウ吉野ヨシノケン 吉野ヨシノ 淳二ジュンジ 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ・走査電子顕微鏡・蒸着器ジョウチャクキ・マスクアライナ
2008-東工大トウコウダイ-39 計測ケイソク分析ブンセキ 共同キョウドウ研究ケンキュウ 電界紡糸化したナノファイバーの物性解析 東工大トウコウダイ・ ・生体セイタイ分子ブンシ機能キノウ工学コウガク専攻センコウ赤池アカイケケン 赤池アカイケ 敏弘トシヒロ 日立ヒタチチョウ高圧コウアツ電子デンシ顕微鏡ケンビキョウH-1250Sケイ
2008-東工大トウコウダイ-40 チョウ微細加工 技術ギジュツ代行ダイコウ 分子定規法によるナノギャップ電極作製に向けたパターン形成 分子ブンシ科学カガク研究ケンキュウジョ 日野ヒノ 貴美キミ 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ・走査電子顕微鏡・蒸着器ジョウチャクキ
2008-東工大トウコウダイ-41 計測ケイソク分析ブンセキ 共同研究 キラリティーを持つポリジアセチレン薄膜の形成と新規特性の発現 東工大トウコウダイ理工リコウ電子デンシ物理ブツリ工学コウガク専攻センコウ岩本イワモトケン 岩本イワモト コウセイ 日立ヒタチチョウ高圧コウアツ電子デンシ顕微鏡ケンビキョウH-1250Sケイ
2008-東工大トウコウダイ-42 チョウ微細加工 共同研究 微細加工技術を用いて作製したテラヘルツデバイスの評価 キヤノン株式会社カブシキガイシャ 尾内 敏彦 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ蒸着器ジョウチャクキ・マスクアライナ・リアクティブイオンエッチング装置ソウチ・プラズマCVD装置ソウチ
2008-東工大トウコウダイ-43 チョウ微細加工 共同研究 ボウタイアンテナを集積したNi-InPショットキーバリアダイオードによるサブTHz~THz検出素子の作製と特性 仙台センダイ電波デンパ高専コウセン 鈴木スズキ テツ 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ有機金属ユウキキンゾクソウ成長装置セイチョウソウチ蒸着器ジョウチャクキ・マスクアライナ・リアクティブイオンエッチング装置ソウチ
2008-東工大トウコウダイ-44 計測ケイソク分析ブンセキ 共同研究 Cu-Co合金中のCo析出ナノ粒子の観察 東工大トウコウダイ・総理工・材料物理科学専攻・加藤カトウケン 加藤カトウ 雅治マサハル 日立ヒタチチョウ高圧コウアツ電子デンシ顕微鏡ケンビキョウH-1250Sケイ
2008-東工大トウコウダイ-45 計測ケイソク分析ブンセキ 技術ギジュツ代行ダイコウ ナノ結晶シリコン発光素子の研究 東工大トウコウダイ理工リコウ電子デンシ物理ブツリ工学コウガク専攻センコウ小田オダケン 小田オダ シュン 日本ニホン電子デンシJEM-2010カタ電子デンシ顕微鏡ケンビキョウ、イオンミリング装置ソウチ
2008-東工大トウコウダイ-46 チョウ微細加工 技術ギジュツ代行ダイコウ 分子定規を有するパターン上への微細加工 分子ブンシ科学カガク研究ケンキュウジョ 日野ヒノ 貴美キミ 電子デンシビーム露光ロコウ装置ソウチ・走査電子顕微鏡・蒸着器ジョウチャクキ