支援形態
 支援内容に応じてセンター及び関係教員5名により、観察/プロセス/デバイスのアドバイスを行い、さらにアドバイザーの指示/指導の下で、電子光学系を扱いなれた2名の電子光学調整系研究支援者が電子ビーム露光及び電子顕微鏡による観察を行います。エッチング・成膜などは、個々の装置に習熟した大学院生などを時間雇用することで行っています。
 支援形態には、以下の三形態があります。

技術代行
現在使用可能な電子線ビーム露光装置と成膜装置・電子顕微鏡を用いることにより、我々が研究してきた特定の材料について、微細パターンを形成・観察し、提供致します。申込者のアイデアに基づいた研究をおこなうことから、一切の知的財産権は、申込者に帰属することとなります。その帰属は覚書交換で確認できます。
共同研究
我々の研究協力が必要(すなわち現時点での我々の常識のみで対応できず、新たな知的貢献が必要な場合)であり、かつ可能な分野に関しては、共同研究を行います。
外部研究者の直接使用
現時点での技術で対応できず、かつ共同研究等にも該当しない支援要請の場合は、利用時間のみ提供いたします。導入材料系の装置への損傷可能性が無いことを確認の上、電子線露光装置、電子顕微鏡での観察の両者のサービスのみの提供となります。但し、外部研究者が使用する場合も、電子光学調整系等の装置操作に関しては研究支援者が操作する場合があります。

いずれの場合も、研究成果は公開を原則とします(公開原則に問題がある場合は自主事業をご利用下さい)。また、発表/実用化時には、本支援事業を利用した成果で有る旨謝辞等で記述ください。また、年度毎に契約更新の為の覚書交換、成果公開/文部科学省への報告の為の報告書提出が必要です。技術代行では、覚書の中で、研究終了時までの秘密保守や研究での知的所有権確認が可能です。共同研究の場合は、共同研究契約締結により、研究終了時までの秘密保守や研究での知的所有権確認が可能です。