令和2年度 成果非公開利用一覧 | |||||||||
PF名 | 実施機関名 | 整理番号 | 利用形態 | 利用者 所属区分 |
分野・業種等 | 利用設備名 | 利用日数 | 利用料、 対価等 |
備考 |
微細加工 プラットフォーム |
東京工業大学 | 1 | 技術代行 | 企業(大企業) | 半導体・電子部品製造業 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他、 | 214 | 1,980,000 | |
2 | 技術代行 | 企業(大企業) | 半導体・電子部品製造業 | 原子層堆積装置 | 4 | 332,100 | |||
3 | 技術代行 | 企業(大企業) | 半導体・電子部品製造業 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 42 | 220,000 | |||
4 | 技術代行 | 企業(大企業) | 精密機器・産業機械製造業 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 133 | 1,100,000 | |||
5 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 21 | 1,155,000 | |||
6 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 21 | 1,155,000 | |||
7 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 20 | 1,100,000 | |||
8 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 19 | 1,045,000 | |||
9 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 19 | 1,045,000 | |||
10 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 19 | 1,045,000 | |||
11 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 19 | 1,045,000 | |||
12 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 19 | 1,045,000 | |||
13 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 19 | 1,045,000 | |||
14 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 19 | 1,045,000 | |||
15 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 19 | 1,045,000 | |||
16 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 19 | 1,045,000 | |||
17 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 20 | 1,100,000 | |||
18 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 20 | 1,100,000 | |||
19 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 20 | 1,100,000 | |||
20 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 20 | 1,100,000 | |||
21 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 20 | 1,100,000 | |||
22 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 20 | 1,100,000 | |||
23 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 20 | 1,100,000 | |||
24 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 20 | 1,100,000 | |||
25 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 20 | 1,100,000 | |||
26 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 20 | 1,100,000 | |||
27 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 20 | 1,100,000 | |||
28 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 20 | 1,100,000 | |||
29 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 20 | 1,100,000 | |||
30 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 22 | 1,210,000 | |||
31 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 22 | 1,210,000 | |||
32 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 21 | 1,155,000 | |||
33 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 20 | 1,100,000 | |||
34 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 22 | 1,210,000 | |||
35 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 22 | 1,210,000 | |||
36 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 21 | 1,155,000 | |||
37 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 21 | 1,155,000 | |||
38 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン・ドラフトチャンバ等を含む)他 | 20 | 1,100,000 | |||
39 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | マスクレス露光装置 | 52 | 501,600 | |||
40 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 走査型電子顕微鏡 | 51 | 1,776,000 | |||
41 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 走査型電子顕微鏡 | 58 | 315,700 | |||
42 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | ダイシングソー | 11 | 7,700 | |||
43 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | ダイシングソー | 9 | 6,300 | |||
44 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | ダイシングソー | 75 | 70,700 | |||
45 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 高真空蒸着装置 | 14 | 187,200 | |||
46 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 触針式段差計 | 15 | 8,500 | |||
47 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | スパッタ成膜装置 | 4 | 162,000 | |||
48 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 走査型電子顕微鏡 | 16 | 288,000 | |||
49 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 走査型電子顕微鏡 | 5 | 90,000 | |||
50 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 走査型電子顕微鏡 | 9 | 162,000 | |||
51 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | イオンミリング装置 | 3 | 33,300 | |||
52 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | イオンミリング装置 | 31 | 869,200 | |||
53 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 共焦点ラマン顕微鏡 | 1 | 92,000 | |||
54 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | マスクレス露光装置 | 35 | 4,195,800 | |||
55 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 高真空蒸着装置 | 49 | 1,869,900 | |||
56 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | リアクテブイオンエッチング装置 | 10 | 498,000 | |||
57 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | 走査型電子顕微鏡 | 19 | 621,600 | |||
58 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | プラズマCVD 装置 | 4 | 88,000 | |||
59 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | プラズマCVD 装置 | 3 | 115,800 | |||
60 | 機器利用 | 大学等 | 教育・研究機関 | リアクテブイオンエッチング装置 | 3 | 49,500 | |||
企業(大企業) | ア | 有機材料 | |||||||
企業(中小企業 | ア | 電子・磁性・金属・無機材料 | |||||||
企業(その他) | ア | 繊維・窯業・紙・パルプ | |||||||
その他 | ア | 食品・飲料 | |||||||
化粧品・トイレタリー | |||||||||
医療・医薬品 | |||||||||
精密機器・産業機械製造業 | |||||||||
医療機器製造業 | |||||||||
分析・計測機器 | |||||||||
電気・電子機器・総合電機 | |||||||||
半導体・電子部品製造業 | |||||||||
自動車・輸送・運輸機器・部品製造業 | |||||||||
鉄鋼・非鉄金属製造業 | |||||||||
商社・代理店・流通・小売業 | |||||||||
電力・ガス・石油・その他エネルギー | |||||||||
建設・不動産 | |||||||||
情報・通信 | |||||||||
金融・投資・コンサルティング | |||||||||
シンクタンク | |||||||||
水産・農林・鉱業 | |||||||||
報道・メディア・出版 | |||||||||
外国公館・機関・団体 | |||||||||
官公庁・自治体・地方公共団体 | |||||||||
教育・研究機関 | |||||||||
その他 | |||||||||
大学等 | イ | 総合領域 | |||||||
大学等(学外) | イ | 複合新領域 | |||||||
公的研究機関 | イ | 数物系科学領域 | |||||||
化学領域(基礎化学、複合化学、材料化学) | |||||||||
工学領域(応用物理・工学基礎、機械、電気電子工学、材料、プロセス、その他) | |||||||||
生物学領域 | |||||||||
農学領域 | |||||||||
医歯薬学領域 | |||||||||
その他領 | |||||||||
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