12.29(Tue.)
- 年賀状を書いた．
- 昨日コジコジの単行本を買った．あと次郎君のストラップを探したのだがなかった．仕方がないのでパラッパラッパーとごん太くんを買った．
- それから昨晩遅く小林さんと庄屋にいた．
12.28(Mon.)
- ITOスパッタ行う．
- SiO2(100nm)/CaF2(32ML)/Si(111)sub上にITOをスパッタするのに，ITOスパッタ前にRTAしたのとしないのとで比較したのだけど，結果に差異は見られなかった．これがITOスパッタの原因ではなさそう．SiO2CVDをしなかったのだけど(立ち下がってたから)，もしかしたらそれが関係あるのかな？
- 昨日荏原町のバルク寿司に小林さん，圭さんらと行ってきた．味はともかくにぎり一人前\1,200はお手ごろで良かった．
- 本日超エレ最終日．立ち下げ必要．
- APLのHPが更新されない．クリスマス休暇なのだろう．
12.26(Sat.)
- CaF2のみ32ML堆積(No1002)．SiO2スパッタ100nm
- 中村君復活！RTAをしてもらう．
- 最近コジコジにはまっている．特に半魚鳥の次郎君が良い．
- 本読み．不確定性原理と波動方程式の3次元への拡張．周波数と時間の間に測定に関する不確定性があるらしいが，それはどうして？時間とエネルギとか運動量と位置とかなら量子論の教科書とかにあるけど，うーん・・・．
12.25(Fri.)
- 今日はクリスマス．ということはそろそろ年賀状を書かないと．
- 本日は電極穴あけ＆ITOスパッタ＆電極パッドRIEをやる．
- 分析室に荒井研がArレーザを搬入する．と思ったけどしなかった．
- またもやITOスパッタ失敗．結構ショック．
- ダミー(CVDから同プロセス)も一緒に入れたのだがそっちはきれいにITOが付いていたので，成長した膜が原因かも．けど前田らのは上手くいってるので一概にそうも言えなさそう．明日CaF2のみを堆積してCVDは立ち下がっちゃったのでSiO2スパッタをし，穴あけ＆ITOをする．
12.24(Thu.)
- 今日はクリスマスイブ．
- 韓国のお寺が大変なことになってる．
- No1001の成長＆SiO2CVD＆SiO2スパッタ＆RTA＆PLをやる．
- 岡野がクリスマスケーキを買ってきてくれた．スパークリングワインも．
- PLはやらなかった．
12.23(Wed.)
- 昨日の忘年会で飲み過ぎたらしく二日酔い．
- で，気持ち悪いまま成長敢行．なんと基板No.1000をゲット．なんだか嬉しい．
12.22(Tue.)
12.21(Mon.)
- 大岡山駅前にトークスが出来てたのでとりあえず入ってみた．以外と広い．
- SiO2スパッタをした.田中に引き継ぎとなって立ち下げをしなくてすんだ．
- 森木先生と森木研の学生がPLを測定しに来た．
12.20(Sun.)
- 本日より脱ガス開始．
- 昨日は四谷に英会話に行ってそこから神保町へ外堀通りをてくてく歩いた．で，書泉と三省堂とをブラブラして，その後内堀通り，桜田通りを歩いて帰ってきた．家に着いたのは22時半過ぎだった．結構疲れた．
- 旧E-gunがリークしてたので，小久保とメンテした．ターボが動かなくなってたので予備のターボセットを用いてとりあえず引いて一晩待つことにした．
- CaF2が170A程度まで電流を投入しないと飛んでこない．けどレートが落ちるって事はないので詰まってきているって事ではなさそう．
12.18(Fri.)
- 今日はダミーで電極穴あけ＆ITOスパッタをした．
- その結果だけど，両方ともきれーにスパッタできた．うーん，スパッタのうまくいかない原因が分からない．どうしよー．とにかく思いつく限りの条件でやってみたのだが上手くいっているのでこの間の失敗はたまたまだったのかな？そんなはずはないと思うけど・・・．
- 明日は僕の誕生日のはず．
12.17(Thu.)
- SiO2スパッタ100nmした基板をRTAしてそれをITOスパッタするとどうなるかやってみる．比較のためにRTA無しのももちろん同時にスパッタする．
- その結果両者に差異は見られなかった．ITOスパッタが失敗するのはRTAの影響かなと思ってたのだが，そうではないらしい．明日は穴あけをしてみましょう．それなのかもしれません．
- 一応今回はスパッタ後DPを冷ますのと同時に基板温度も下げるためメインバルブを閉めました．ずっとDPを立ち上げて温度が冷めるまで引いて置かなくても大丈夫らしい．
- それより問題はクリントンのイラク攻撃．この時期にこんな事するなんて明らかに弾劾逃れにしかとられないよ．何でこんなことするのだろう？
- 岡野に関根先生の量子電磁気学を借りて読んでみた．なかなか簡潔で面白そうな本だった．
12.16(Wed.)
- 今日はICBをメンテした．CaF2のるつぼとヒーターが離れていてリフレクターに材料が詰まっちゃうらしいのだが，今回はその固まった材料がるつぼの小さな穴の上に乗っかっていて，それが邪魔をしたらしい．とりあえずるつぼとヒーターを近づけて，あとはリフレクターをフッ硝酸で洗浄した．CaF2が少しでもついているとそこを核にして材料が育っていくことがあるらしいので．
- 本日14時にベーキング開始．終了予定は土曜日の22時です．
- 舟山のカスケード輪講．AlからErに電極を変更するらしいが，これでバーァンとNDRでも出たら，みんなErにするのかなあ？？？
- 岡本さん来研
- 本読み．エネルギーと運動量の演算子のところまでやった．来週はクリスマスイブに行う．
12.15(Tue.)
- プエルトリコのアメリカ合衆国での州への昇格は国民投票の結果見送りになった．もし州になってでもいたら，高校入試くらいに出てただろうな．
- ITOスパッタ見事に失敗した。どうしよう？？？とにかくICBをメンテするのでベーキング中にでもきちんと解決しておこう。それにしてもわからん。
- それでもめげずにプロセスを敢行したら、今度は現像がうまく行かなかった。どうもITOとガラスの密着性が悪いらしく、レジストとITOがくっついて剥がれてしまう。
- 明後日ICBのメンテ。CaF2が詰まったらしいが、おそらくルツボヒータとルツボの先が離れすぎてて、そこで材料が冷えてしまい固まったのだろう。ちゃんと明日はチェックしよう！
- 本日SiO2スパッタ100nm堆積
12.14(Mon.)
- SiO2のエッチングをBHF7％で50秒と60秒やってSEMで見たら両方ともきれいに穴が開いていた．
- フォトリソの現像液(CONC)が減ってきている．
- しかし，新しいのが2本有りました．失敬．
- ITOスパッタダミーはうまくいった．
- 本番基板はどうなるか？明日の朝までチャンバの中に入れておきます．
12.11(Fri.)
- SiO2CVDを岡野とした．
- 前田が久しぶりに来た．元気そうでよかった．
- キムチ雑炊を2食で食べたのだが，ザーサイがやっぱりダメだった．
- 晩飯は炊き立ての竜田揚げ弁当．うまかった
12.10(Thu.)
- 朝から偏頭痛が激しくて，何度も吐いた．パンは吐きにくい事が分かった．
- watapcが動かなくなってしまった．中村君に再インストールをお願いした．
- 中村君にNo987を成長してもらった．
- TOEICの締め切りが昨日までだったらしくがっくし．次回(3/28)の申し込みは1/4からなので忘れないようにしよう．
- 山崎が来た．飯を奢ってもらおうと思ったけどダメだった．
- なぜか青木さんも来たよ．
12.09(Wed.)
- 家にあった図書館の本の返却日が過ぎていることに気づいたので大学来るついでに返してきた．
- ITOのターゲットは緑色でZnOのターゲットは黄色です．
- 輪講は浅田先生だった．THz三端子素子の話はとても面白かった．
- 電極穴開けとITOスパッタをした
- しかーし，スパッタを失敗してしまった．原因が分からないので明日ダミーをやってみる．もしかしたらホースを変えて排気速度が良くなったことがスパッタ条件を変化させたのかもしれない．ダミーは重要であることが痛感．
12.08(Tue.)
- カップ麺を食ったら気持ち悪くなって吐いた．やはりカップ麺は体に悪いらしい．
- 脱ガス終了．レート補正に突入．
- ガンを立ち上げたまま搬送しようとしたら，搬送系のインターロックに引っかかってしまった．どこで引っかかるかというと，自動搬送時に用いてたセンサーで，成膜室内で速度が落ちるセンサーが有るんです．そのセンサーによって電源が落ちる仕組みになってますね．だから電源を入れたまま搬送するには搬送棒に付いている爪を取っちゃうか，もしくはセンサー自体を取っちゃうかのどちらかしかないですね．ちなみにずっとセンサーをONのままにしておくと電源自体が入りません．
12.07(Mon.)
- 今朝くるくるパンを買いに行ったら，ちょうど入れ替えをしていたので入れ替えしている兄ちゃんに声をかけて\130のパンを直接売ってもらったら，一つ他のパンをサービスでもらった．
- 今日から脱ガス開始．
- どうやらS5のスパッタのホースが繋がっていて，すでに使える状態にあるらしい．それも先週の木曜にはなおってたとは．この2日間が無駄になってしまった．
- 夕方の7時半からゆーたからやに行くと良いことがあると今日判明した．
12.04(Fri.)
- 今朝はめちゃくちゃ寒かった．昨日の夜は初雪だったそうです．
- 宮本先生にメールで聞いたら，気化装置を用いた窒素の純度は今までのボンベでの窒素と同レベルだそうです．したがって純窒素にはつかえないんだそうだ．
- RTA装置のPTNの振り分け表をエクセルで作った。p:\groups\icb\記録用紙\にある。
12.03(Thu.)
- 今朝もSiガンがオーバーロードになってしまってメンテをしてた．けど前田に手伝ってもらったら，あっという間に解決した．ごりごりテスターでチェックするとフィラメントとフランジの間に1000kΩくらいの抵抗が見えました．なので開けてみたらガンのふちにSiのチャンクが落ちてた．今引いてるけどこれでうまく行くといいな．
- なんとかオーバーロードの件も決着し，ベーキングをいれる事が出来た．神様仏様前田様です．
- 山上にボーリングで大負け．今度こそ！！
1998.12.02(Wed.)
- 今日はICBのメンテをやった．RHEEDはウェネルトの蓋の穴を綿棒にピカールをつけてきれいにした．あとはCaF2のフィラメントを旧チャンから借用しているのを，新チャン用の新品に交換しようとしたらねじが足らなくなり断念した．あと，一度締めた後Siガンがオーバーロードしちゃったので開け直した．
- 輪講はテラヘルツだった．もうちょっとで出来るらしい。PAT現象が出てほしい．
1998.12.01(Tue.)
- 昨日から窒素のチェック表が更衣室におかれる事になった．これでICBの準備室をリークするときもきちんと書くようになるだろう．とにかくこうやって不便な所はどんどん改善していくのはいいことだ．
- 明日は新ICBのメンテナンス．グリッドとフィラメントがとうとうくっついちゃった．ついでにRHEEDの修理とSiの材料足しをやろう！