|
1.ナノプラットの公開の原則（報告書提出の義務，論文等発表時の謝辞の義務，特許出願報告の義務及び試料の譲渡による利益を得ることの禁止）による場合 一露光当たり（他のプロセスを含んでも） 5,000円 有機金属気相成長装置 一成長あたり 800円 集束イオンビーム装置 一観察あたり 800円 基板貼付け装置 一貼付けあたり 1,500円 蒸着器 一蒸着あたり 300円 スパッタ装置(ケーサイエンス製) 一成膜あたり 1,400円 RIE装置 一エッチングあたり 400円 ICP-RIE 装置 一エッチングあたり 1,200円 ウェハ洗浄装置 一洗浄あたり 1,500円 密着型手動マスクアライナ一露光当たり 300円 プラズマCVD 一成膜あたり 200円 走査型電子顕微鏡 一観察当たり 200円 段差計 一観察あたり 200円 デジタル光学顕微鏡 一観察あたり 200円 低真空SEM 一観察あたり 200円 使用主装置の電気代のみを算出根拠としています。 2.ナノプラットの公開の原則によらない場合(自主事業) 一露光当たり（他のプロセスを含んでも） 100,000円 有機金属気相成長装置 一成長あたり 43,000円 集束イオンビーム装置 一観察あたり 17,000円 基板貼付け装置 一貼付けあたり 14,000円 蒸着器 一蒸着あたり 14,000円 スパッタ装置(ケーサイエンス製) 一成膜あたり 14,000円 RIE装置 一エッチングあたり 12,000円 ICP-RIE 装置 一エッチングあたり 8,000円 ウェハ洗浄装置 一洗浄あたり 7,000円 密着型手動マスクアライナ一露光当たり 6,000円 プラズマCVD 一成膜あたり 6,000円 走査型電子顕微鏡 一観察当たり 6,000円 段差計 一観察あたり 1,700円 デジタル光学顕微鏡 一観察あたり 1,300円 低真空SEM 一観察あたり 1,300円 国立大学法人は営利企業でないことから、人件費・消耗品・装置保守費を算出根拠としております。算出根拠には、装置減却償却費相当は含まれておりません。 |