支援形態
  支援内容に応じて支援関係教員5名により、プロセス/観察/デバイスについてのアドバイスを行い、それに基づいて下記の5形態などで支援を行います。
技術代行・技術補助など東工大側での人員が必要な部分は、電子ビーム露光及び電子顕微鏡などは電子光学系を扱いなれた電子光学調整系研究支援者が、エッチング・成膜などのその他の装置は個々の装置に習熟した大学院生などを時間雇用することで行っています。

技術代行
現在使用可能な電子線ビーム露光装置と成膜装置・電子顕微鏡を用いることにより、我々が研究してきた特定の材料について、微細パターンを形成・観察し、提供致します。申込者のアイデアに基づいた研究をおこなうことから、一切の知的財産権は、約款にあるように申込者に帰属することとなります。
機器利用/技術補助
現時点での技術で対応できず、かつ共同研究等にも該当しない支援要請の場合は、導入材料系の装置への損傷可能性が無いことを確認の上、機器利用として利用時間のみ提供いたします。
なお、機器利用において当初装置の使い方などに指導が必要な場合は、支援料金区分としては、技術補助の料金となります。電子ビーム露光装置を単独操作するまで習熟するには東工大学生でも相当量の習熟が必要であることは御考慮ください。
共同研究
我々の研究協力が必要(すなわち現時点での我々の常識のみで対応できず、新たな知的貢献が必要な場合)であり、かつ可能な分野に関しては、共同研究を行います。この共同研究はエフォートを払うアドバイザー教員の承諾が必須で、東工大の共同研究契約締結も必要です。
技術相談
微細加工において、どのような研究計画を建てればよいか、他機関等の利用等について、公知であるが専門的知識に基づいての助言をおこなうものです。助言を行ったが上記などの支援に至らなかった場合が、技術相談としての扱いとなり報告書をいただくことになります。描画時間などの計算まで行いながら、描画に至らない場合は、技術相談として必ず扱います。
特に高度な知識を要求する場合には、東工大の学術指導に準拠して技術相談料が必要となります。

いずれの場合も、年度毎に約款の承諾確認のための利用申請書提出、利用後の利用報告書提出が必要です。利用報告書は公開を原則とします(公開原則に問題がある場合は自主事業をご利用下さい)。また、本事業を利用した発表/実用化時には、本支援事業を利用した旨謝辞等で記述ください。 約款に基づき、研究終了時までの秘密保守や研究での知的所有権確認が可能です。共同研究の場合は、秘密保守や研究での知的所有権確認は共同研究契約書に基づきます。
本支援事業利用では、データ登録約款に基づいたデータ提供許諾が前提となっています。データ提供許諾をいただけけない場合は、クリーンルーム利用料以外について25%料金が割増となります。