ナノテクノロジーネットワークプログラム「電子ビームによるナノ構造造形・観察支援」

文部科学省「先端研究施設共用イノベーション創出事業」

 「先端研究施設共用イノベーション創出事業」は,大学等の研究機関が所有する先端研究設備を 研究機関・分野の枠組みを越えて共用することで,イノベーションを生み出すことを目的として, 平成19年度より文部科学省により開始されました.

ナノテクノロジー・ネットワークとは

 ナノテクノロジー・ネットワークは上記事業の内,ナノテクノロジーの分野において「ナノ計測・分析」, 「極微細加工」,「分子合成」,「極限環境」といった各領域での先端研究支援を目的とし, 各領域における先端研究設備を備えた機関郡が採択され, 広範な産学官の組織の研究者に最先端の研究環境および技術を提供いたします.

「電子ビームによるナノ構造造形・観察支援」

 本学では平成14年度から18年度の期間で量子ナノエレクトロニクス研究センターを中心に, 文部科学省ナノテクノロジー総合支援プロジェクト「電子ビーム露光による3次元ナノ構造構築支援」 に参画してまいりました.ここに平成19年度より本超高圧電子顕微鏡室の有する, 超高圧透過型電子顕微鏡を活用した解析支援を併せた「電子ビームによるナノ構造造形・観察支援」 課題をもってナノテクノロジー・ネットワークに採択されました.これら支援事業へのご依頼をお考えの方は下記リンクより概要をご覧ください. また、他機関と協力して,EBLスクールの開催を行っています.


電子ビーム露光装置によるナノ構造造形支援 (量子ナノエレクトロニクス研究センター)

超高圧電子顕微鏡によるナノ構造観察支援 (超高圧電子顕微鏡室)

造形・観察分野の複合型の支援をご希望の方は造形部門からお申し込みください.

H21年度東北地区電子線描画リソグラフィスクール

H21年度の首都圏以外での電子線描画リソグラフィスクールは東北大学ナノテク融合センターと合同で行います。 詳しくは