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| 量子ナノエレクトロニクス研究センターには、結晶成長装置、
デバイス評価装置等の最先端設備が設置されています。下記に、本センターのグループにより常時使用されている装置
の一部を紹介いたします。本センターはこれ以外に、走査型トンネル顕微鏡、原子間力顕微鏡を始め、材料及びデバイスの
表面構造等を評価するための装置を有しています。 |
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高品質半導体及び量子構造を作製するための
有機金属気相成長装置です。 |
高品質な半導体-金属接触を形成するための
超高真空6源電子ビーム蒸着装置です。 |
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金属-絶縁体-半導体構造を作製するための
超高真空クラスタ・イオンビーム成長装置です。 |
原子層MOCVD装置：その場でのエリプソ分光が可能であり、
極薄 膜の酸化物を形成することが可能です。 |
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III-V族化合物半導体形成用分子線エピタキシー装置です。 |
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