Tokyo Institute of TechnologyMasahiro WATANABE Lab.

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研究設備

大岡山キャンパス( 超高速エレクトロニクス研究棟)
超高真空中薄膜結晶成長装置(MBE)
電子ビーム露光装置(共同利用)

すずかけ台キャンパス
超高真空中イオンビーム薄膜結晶成長装置(MBE)
原子間力顕微鏡(AFM)
フォトリソグラフィー用マスクアライナ(カールズース社製)
ヘリコンスパッタ(SiO2)
半導体パラメータアナライザー
FTIR(フーリエ変換赤外分光光度計)

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ご質問等ございましたら、watanabe@pe.titech.ac.jpまでご連絡ください。